催化燃燒設備選用典型性的氣固催化反應速度，其實質上_是臭氧的深層空氣氧化。在催化反應清潔全過程中，催化劑的功效是減少活化能，另外催化劑的表面是具備吸咐功效的，使生成物分子結構在表面聚集，提升反應速率。